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VMB閥門箱

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半自動VMB特氣分配箱

半自動VMB特氣分配箱

產品分類:VMB閥門箱
產品說明:VMB,VMP,閥門箱VMB,半自動VMB特氣分配箱,VMB生產廠家,AG
  • 產品描述

氣體閥門分配箱(VMB)

產品介紹:

VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。

VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對於每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維

VMB的每一部份。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。

vmb

半自動分配箱和手動分配箱介紹:

半自動分配箱(VMB):通過采用PLC控製,觸控屏為人機界麵,通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥等裝置,實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導

體工藝生產過程中對高純介質的連續供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

適用氣體:易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。

適用行業:Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等。

麵板基本配置:

  1. 進口手動隔離閥
  2. 進口氣動隔膜閥
  3. 進口壓力傳感器
  4. 吹掃壓力表
  5. 單向閥
  6. 減壓器
  7. 過濾器
麵板可選配置
  1. 真空發生器
  2. 測試端口閥門
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