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電子特氣AG亚游集团高純氣體管路的設計要點

文章來源:本站人氣:1059發表時間:2019-03-22 11:09:42

電子特氣AG亚游集团高純氣體管路的設計要點

特種氣體的供應方式截至目前為止,幾乎皆用鋼瓶的方式進行。一般常用的為高壓鋼瓶,依其填充的氣體特性有分為氣態和液態兩種。一般氣體依液態儲存於鋼瓶內,瓶內壓力較高,所以最佳方式是選用吸附式氣態鋼瓶,以氣體分子與吸附劑間的範德瓦力將氣體吸附於吸附劑孔隙中,其優點為供氣壓力低於一個大氣壓,無任何泄漏的危險,且供氣量為普通高壓鋼瓶的10倍,低蒸汽壓的氣體以液態儲存於鋼瓶內;針對易燃易爆,有毒性腐蝕性的氣體,常將鋼瓶至於特氣櫃中,再通過管路將氣體供應至現場附近的閥箱,經過一係列的控製而後進入用氣點;一般惰性氣體以開放式的氣瓶架和閥盤供應,下麵由AG特氣係統解決方案提供商為大家講解一下電子特氣AG亚游集团高純氣體管路的設計要點。

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1.對於不同特性的氣體,要規劃獨立的供應區域,一般分為三個區:腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區,將相同性質的氣體集中加強管理,可燃性氣體區要特別規劃防爆牆與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。
2.管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小於10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小於8ml/S,在用量設計方麵,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,後者使用點的管徑一般為1/4”~3/8”。
3.根據用氣設備的分布情況,高純氣體的管網不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環形管路,在係統末端連續不斷排放少量的氣體,以便在管網中總有高純氣體流通,不會發生“死空間”引起高純氣體的汙染。
4.管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控製裝置、多閥門控製裝置、用以控製各個閥門的開關順序、係統吹除,以確保供氣係統的安全、可靠運行和防止“死區”形成而滯留汙染物,降低氣體純度。
5.對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送係統;也可采用同等級輸送係統,但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。
6.為了檢測高純氣體的純度和雜質含量,輸送係統除了設置必要的連續檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質含量等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質的含量。
7.在亞微米級的集成電路生產中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質含量(包括塵粒)控製在規定的數值內,一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。
以上就是AG為大家簡單講解的電子特氣AG亚游集团高純氣體管路的設計要點,希望能給大家提供參考。
深圳AG科技有限公司是一家專業從事氣體應用係統工程:電子特氣係統、實驗室氣路係統、工業集中供氣係統、大宗氣體(液體)係統、高純氣體及特種工藝氣體二次配管係統、化學品輸送係統、純水係統提供從技術谘詢、整體規劃、係統設計、選定設備、預製組件、項目現場安裝建設、整體係統檢測等全套工程技術服務和配套產品於一體的高新技術企業; 榮獲“國家高新技術企業”認定並取得證書。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫藥、科研所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送係統全套解決方案與全國各大院校科研所合作研發的多個國家重點實驗室項目,並取得了可喜的成績。同時為眾多高新技術企業和上市企業提供了安全優質的氣體應用係統服務,保障其生產和設備的可靠運行。

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