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矽烷特氣櫃設計及矽烷氣體AG亚游集团要求

文章來源:本站人氣:506發表時間:2019-09-06 16:36:57

矽烷特氣櫃設計及氣路AG亚游集团要求


  矽烷在高科技種應用越來越廣泛,矽烷有什麽作用,矽烷控製係統設計有哪些要求?這裏將進行介紹。矽烷之所以在高科技中被廣泛應用並且越來越重要, 首先是與它的特性有關,同時也與現代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應,

矽烷特氣櫃

  矽烷的有什麽作用
  1、可由矽烷製得單晶矽、多晶矽、非晶矽、金屬矽化物、氮化矽、碳化矽、氧化矽等一係列含矽物質。

  2、利用矽烷可以實現zui高的純度、zui精細(可達原子尺寸)的控製和最靈活多變的化學反應。從而將各種含矽材料按各種需要製成複雜精細的結構, 這正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

  矽烷特氣櫃設計要求


  1、矽烷由於其極其危險性,整套係統應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃,不得采用AG亚游集团氮氣吹掃;

  2、應該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測器、火焰探測器等;

  3、矽烷係統的排氣管不得接入排風係統;

  4、排氣管應采用惰性氣體連續吹掃,吹掃氣體流速不得小於0.3m/s

  5、排氣的矽烷濃度較高時,應采用燃燒式尾氣處理裝置處理後排入大氣。

  矽烷AG亚游集团要求


  特氣AG亚游集团安裝一般采用充氬氣加熱處理而成,EP管采用電解研磨方式加工而成。其內、外表麵極其光亮。潔淨AG亚游集团的焊接除了要達到常規工業AG亚游集团對焊縫的要求外,還要求焊接時管內、外表麵不受汙染,焊縫內、外表麵必須與母材光亮度基本一致。
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